在半導體制造工藝持續向更小節點邁進的今天，晶圓表面缺陷檢測的精度要求已邁入亞百納米級別。然而，這一領域長期面臨一個“隱形殺手"——激光散斑噪聲。當檢測系統使用激光光源時，粗糙晶圓表面產生的隨機干涉條紋會形成雜散信號，將微小的缺陷信號淹沒于噪聲背景之中。如何在保證高速檢測效率的同時，消除這一測量誤差，成為行業亟待突破的瓶頸。
CCSAWAKI FOLS-10光纖輸出納秒脈沖LED光源單元，為這一難題提供了一個全新的解決思路——用“無散斑"的LED脈沖光，替代傳統激光光源。
在激光掃描暗場檢測系統中，晶圓表面固有的微粗糙度（即使是最高等級的晶圓，RMS粗糙度也在0.1-0.4nm級別）會引起隨機散射，形成所謂的“霧霾信號"（haze signal），極大地抬高了檢測噪聲基底。當檢測目標是數十納米的微小顆粒時，其散射信號強度與背景噪聲往往處于同一量級，導致檢測靈敏度嚴重下降。
過去，業界嘗試通過優化孔徑設計、信號后處理等方法來抑制散斑噪聲，但這些方法要么依賴經驗閾值、缺乏理論根基，要么受限于算法性能而難以推廣。從光源端解決問題，成為更根本的思路。
FOLS-10的獨特1價值，源于其對LED發光特性的極1致開發。與激光的強相干性不同，LED發出的光天然具有低相干性，不會產生干涉條紋和散斑——這是其物理原理決定的。
一項針對9nm節點晶圓缺陷檢測的研究證實，將激光光源替換為非相干LED后，散斑噪聲被有效消除，系統成功在明場成像模式下同時檢測出缺陷和表面污染顆粒。這為FOLS-10在半導體檢測場景中的應用提供了有力的技術佐證。
FOLS-10的競爭力不僅在于消除了散斑誤差，更在于它是一款兼具高速脈沖能力的專業光源。其核心規格如下：
納秒級上升沿：25ns的脈沖上升時間
高頻觸發能力：最大重復頻率10MHz，支持TTL外部觸發
波長靈活可選：覆蓋紫外至紅外波段（365nm-950nm），可根據檢測對象匹配最佳波長
光纖輸出：FC接口、600µm/200µm芯徑可選，便于系統集成
這意味著，FOLS-10不僅能提供無散斑的“純凈"照明，還能以高達10MHz的脈沖頻率配合檢測系統的高速掃描，滿足產線對檢測效率的要求。而25ns的上升沿特性，也為基于時間分辨的光學測量提供了可能。
在半導體檢測的光源選型光譜中，激光提供高亮度和相干性，但帶來散斑噪聲；普通LED提供無散斑照明，但缺乏高速脈沖能力。FOLS-10恰好填補兩者之間的空白——以LED的無散斑特性，提供類激光的脈沖調制能力。
對于面臨激光散斑困擾的晶圓檢測、封裝基板檢測、薄膜測量等場景，FOLS-10提供了一條無需改變系統基本架構、即可從源頭消除散斑誤差的路徑。其緊湊的尺寸（40×24×60mm，重70g）和光纖輸出設計，也使其易于集成至現有檢測設備中。
當半導體檢測的精度競賽步入“散斑主導"的時代，從光源端重新審視技術路線，或許正是破局的關鍵所在。CCSAWAKI FOLS-10，為半導體精密測量，帶來一束不含“噪點"的純凈脈沖光。
